国家重大科学仪器设备开发项目在成都启动

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成都新闻(记者韩清华张莉)10月9日，成都泰科光电科技有限公司正式启动了国家“十三五”期间承担的重大科学仪器设备开发项目“超光滑表面无损检测仪”。

该仪器主要用于高精度非接触测量，可广泛用于高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路、半导体制造、半导体照明、太阳能新能源电池等基板的ttv、曲率和表面质量等关键参数的快速检测，也可应用于大型现代光学工程系统，如大规模高功率固态激光系统、极紫外光刻、航空/航天/航空航天/。